气体传感器的集成化研究状况

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气体传感器的集成化研究状况

更新时间：2025-09-11

- 气体传感器的集成化研究状况
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- 传感器与微系统 1994年第3期页码：1-6
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97871994.03.001
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：1994
- 稿件说明：
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气体传感器的集成化研究状况[J]. 传感器与微系统, 1994,(3):1-6.
气体传感器的集成化研究状况[J]. 传感器与微系统, 1994,(3):1-6. DOI： 10.13873/j.1000-97871994.03.001.

DOI：

摘要

集成技术在未来传感器的发展中起重要作用。综述了与集成工艺兼容的气体传感器的研究状况

包括半导体场效应型、晶体管型、薄膜型、微量热计型和声表面波(SAW)型气体传感器。

Abstract

关键词

Keywords

references

牛蒙年.半导体场效应型气体传感器的研究现状与未来[J].传感器技术,1993(03).

金庚墀.半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置[J].传感器技术,1988(03).

固体电子学研究与进展[J].固体电子学研究与进展,1983(01).

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