用<111>硅的自停止腐蚀方法制作硅膜[J]. 传感器与微系统, 1994,(2):49-51.

用<111>硅的自停止腐蚀方法制作硅膜[J]. 传感器与微系统, 1994,(2):49-51. DOI： 10.13873/j.1000-97871994.02.015.

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