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带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺
更新时间：2025-09-11

    • 带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺

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    • 传感器与微系统   1994年第1期 页码：29-32

    • DOI：10.13873/j.1000-97871994.01.007    

      中图分类号： TP212.1

    • 纸质出版：1994

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  • 带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺[J]. 传感器与微系统, 1994,(1):29-32. DOI： 10.13873/j.1000-97871994.01.007.

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