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多晶硅微机械薄膜形成技术
更新时间：2025-09-11

    • 多晶硅微机械薄膜形成技术

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    • 传感器与微系统   1993年第6期 页码：38-39+55

    • DOI：10.13873/j.1000-97871993.06.014    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1993

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  • 多晶硅微机械薄膜形成技术[J]. 传感器与微系统, 1993,(6):38-39+55. DOI： 10.13873/j.1000-97871993.06.014.

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