纸质出版:1993
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一种新型的光纤硅压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):60.
一种新型的光纤硅压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):60. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.05.016.
DOI:
国外研制成一种新型的
E型方硅杯光纤压力传感器。图1简要地说明了这个传感器的工作原理。光源在传感器外部
它可以是卤灯
也可以是阳光或激光
E型方硅杯上横有一根光纤
在光纤末端的E型方硅杯边缘处制作了一个光敏二极管。当E型硅杯受到不同压力时
光纤的末端就按照杯底膜片挠曲的大小
在垂直于膜片的方向上产
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