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厚膜气敏器件加热器的研究[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):41-42.
厚膜气敏器件加热器的研究[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):41-42. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.05.009.
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1 前言 目前国内外烧结气敏器件虽然商品化
但由于器件电参数离散性大
对满足传感仪器探头的互换和大批量生产还有困难
为此厚膜敏感器件的研究与应用更被人们所重视
厚膜气敏器件采用厚膜印刷工艺
其电参数一致性好
适合大批量生产。它与一般的半导体器件不仅工艺不同
而且其工作原理也有很大差异。厚膜气敏器件工作时
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