华中理工大学
纸质出版:1993
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王菊香. 锯齿波驱动PZT微测量技术与系统[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):35-37.
王菊香. 锯齿波驱动PZT微测量技术与系统[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):35-37. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.05.007.
DOI:
磁盘表面粗糙度测试技术与工业生产密切相关
在技术进步国家深受重视。对PZT调制光外差干涉法的两种方案展开分析计算
选用锯齿波驱动方案实现高精表面测量技术
研制的测量系统可对磁盘表面粗糙度进行精确测量。
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