纸质出版:1993
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电容式压力传感器微电容测量集成电路的研制[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):13-21.
电容式压力传感器微电容测量集成电路的研制[J]. 传感器与微系统, 1993,(5):13-21. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.05.003.
DOI:
采用开关电容技术的Boxcar(时域平均)积分原理设计
为测量电容式压力传感器的微电容的接口电路已提出。它由Boxcar积分器
锁存器
脉冲宽度调制器和控制信号电路组成。该接口电路
采用3μm P-阱CMOS双层多晶硅栅工艺研制
管芯面积为2.5mm×3.5mm.测试结果表明
接口电路具有较好的灵敏度
它能将硅集成电容式压力(加速度)传感器集成在同一芯片上
实现一体化。
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