纸质出版:1993
移动端阅览
声表面波湿度传感器[J]. 传感器与微系统, 1993,(4):12-15.
声表面波湿度传感器[J]. 传感器与微系统, 1993,(4):12-15. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.04.003.
DOI:
叙述了声表面波的有关概念。介绍了声表面波湿度传感器的工作原理及器件制作
并对这种新型湿度传感器的性能及有关问题作了讨论.
0
浏览量
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构