纸质出版:1993
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硅电容式触觉传感阵列及相关技术[J]. 传感器与微系统, 1993,(4):1-8.
硅电容式触觉传感阵列及相关技术[J]. 传感器与微系统, 1993,(4):1-8. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.04.001.
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从目前硅电容式触觉传感阵列的研究现状出发
详细分析了各种阵列单元结构、加工工艺、读出电路的设计和性能特征等。最后探讨了今后触觉传感阵列的研究趋向和发展前景。
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