引言 目前

SnO

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半导体气敏器件（以下简称器件）

由于成本低

灵敏度高

响应时间快等优点已商品化

大量投放市场

用于对易燃、易爆、有毒、有害气体的监测

预报和控制工程中

因而器件的可靠性水平高低直接关系到国家财产和人民生命的安全。当前

半导体气敏传感器普遍存在可靠性差的缺点

故提高可靠性水平是当务之急

也是出口创汇的基本条件。