纸质出版:1993
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减小压力变送器漂移的方法[J]. 传感器与微系统, 1993,(3):41-46.
减小压力变送器漂移的方法[J]. 传感器与微系统, 1993,(3):41-46. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.03.013.
DOI:
扩散硅压力芯片和硅环基座封接采用金硅共熔工艺
硅环通过引压管和底座封接
整个力敏器件的结构是浮动式
这样大大减小了芯片周围的应力。芯片外面是充满硅油的膜盒腔。扩散硅芯片内引线采用高掺杂浓度导电带
外引线用金丝
热压焊和超声焊相结合
保证接点有良好的导电性能。这些措施减小了压力变送器的时漂
提高了可靠性。变送器的零点和灵敏度热漂移经过外电路补偿后显著降低。通过两种不同的外电路分别组成电压电流输出的压力变送器
在-20~70℃范围内
准确度为±0.5%F.S
输出信号可为0~5V
4~20mA
1~5V。可广泛用于宇航
石油化工等领域测气体、液体介质的压力。
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