Zn（CH

3

COO）

2

通过溶胶凝胶法（Sol-Gel）被制备成粒度分布均匀的ZnO气敏薄膜

固有构参数已被确定。通过XRD（X射线衍射仪）和TEM（透射电镜）的分析结果

确认膜为ZnO多晶材料

并且利用高阻计测试了在不同气氛中试件的气体灵敏度。