法国光学敏感元件公司新研制一种无接触测量位移的集成式光学干涉传感器

其工作建立在干涉测量原理之上

主要由集成光学电路、激光二极管、光电二极管等元件组成。工作温度35℃、工作距离0～100m

精度0.5μm。