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极薄氧氮化硅膜新技术
更新时间：2025-09-11

    • 极薄氧氮化硅膜新技术

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    • 传感器与微系统   1993年第2期 页码：30

    • DOI：10.13873/j.1000-97871993.02.009    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1993

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  • 极薄氧氮化硅膜新技术[J]. 传感器与微系统, 1993,(2):30. DOI： 10.13873/j.1000-97871993.02.009.

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