纸质出版:1993
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TiO2氧传感器的制造和应用[J]. 传感器与微系统, 1993,(2):27-30.
TiO2氧传感器的制造和应用[J]. 传感器与微系统, 1993,(2):27-30. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.02.008.
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介绍的氧传感器基本构成是:在陶瓷基片上印制多孔型金属氧化物厚膜(50~100μm)和金属电极
并在此膜层上以等离子体溅射法涂覆陶瓷保护层(见图1)。因此机械强度好、所检测的气体中的氧气能够迅速地扩散进这种多孔性的膜层中
传感器阻值
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