纸质出版:1993
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电容式触觉传感阵列单元的理论设计[J]. 传感器与微系统, 1993,(2):14-19.
电容式触觉传感阵列单元的理论设计[J]. 传感器与微系统, 1993,(2):14-19. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.02.004.
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主要分析了16×16电容式触觉传感阵列中一种新的单元结构—异型膜结构的理论设计。建立了异型膜模型
并首次通过求解大挠度情况下的挠曲微分方程
对异型膜进行数值模拟;研究了异型膜的结构参数对传感器灵敏度的影响
并估算出外力的动态范围。结合实践
为阵列单元设计提供了可靠的理论依据。
徐芝纶 著.弹性力学[M].人民教育出版社,1982.
朱秀文.半导体集成传感器陈列[J].传感器技术,1987(01).
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