北京理工大学
纸质出版:1993
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张焱. 新型集成压电式加速度传感器[J]. 传感器与微系统, 1993,(1):1-4.
张焱. 新型集成压电式加速度传感器[J]. 传感器与微系统, 1993,(1):1-4. DOI: 10.13873/j.1000-97871993.01.001.
DOI:
带质量块的集成硅压电式加速度传感器是硅刻蚀加工与硅集成电路技术相结合的产物
它取得了近直流响应
灵敏度高等极佳的综合性能。重点介始了该传感器的结构和工艺
并简述了发展概况。
史锦珊,王玉田,李志全.一种新型压电式加速度计的设计[J].传感器技术,1989(02).
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