对氢气、硫化氢和氨等的检测通常使用钯膜栅场效应管。介绍一种新型铂膜栅场效应管传感器

它可以检测低浓度的磷烷

其机理与钯膜栅场效应管检测氢气不完全相同。还研究了温度对检测磷烷的影响

测定了不同浓度磷烷下铂膜栅场效应管的功函数值。当磷烷浓度在10

-6

～1.5×10

-5

范围内

信号与磷烷浓度的对数呈线性。