微机械加工中的RIE技术

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微机械加工中的RIE技术

更新时间：2025-09-11

- 微机械加工中的RIE技术
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- 传感器与微系统 1992年第6期页码：8-12
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97871992.06.003
  中图分类号：
- 纸质出版：1992
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微机械加工中的RIE技术[J]. 传感器与微系统, 1992,(6):8-12.
微机械加工中的RIE技术[J]. 传感器与微系统, 1992,(6):8-12. DOI： 10.13873/j.1000-97871992.06.003.

DOI：

摘要

简述了反应离子刻蚀（RIE）技术在微型传感器部件加工制造中的应用

报道了采用NF

3

、SF

6

等气体反应离子刻蚀Si的实验结果

研制出了φ300μm的微型Si齿轮。

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