纸质出版:1992
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声表面波压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1992,(6):1-3.
声表面波压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1992,(6):1-3. DOI: 10.13873/j.1000-97871992.06.001.
DOI:
论述了声表面波压力传感器的工作原理及设计方法
报导了研究结果:传感器在0~100kPa范围内具有良好的线性;其中一阶压力灵敏度为0.55×10
-9
/(Pa·cm
-2
)。
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