纸质出版:1992
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微型传感器的新制造法[J]. 传感器与微系统, 1992,(5):55.
微型传感器的新制造法[J]. 传感器与微系统, 1992,(5):55. DOI: 10.13873/j.1000-97871992.05.017.
DOI:
美国桑迪亚国家实验室的研究人员开发一项蚀刻硅
以形成微型传感器和其他器件的新制造法。 通常
这些三维结构的刻蚀是难以用普通的光刻工艺和化学蚀刻法进行精密控制的
因此蚀刻表面粗糙
而不是镜面或精整面。
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