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微电子技术中常用材料的机械性能
更新时间：2025-09-11

    • 微电子技术中常用材料的机械性能

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    • 传感器与微系统   1992年第5期 页码：45-46

    • DOI：10.13873/j.1000-97871992.05.014    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1992

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  • 微电子技术中常用材料的机械性能[J]. 传感器与微系统, 1992,(5):45-46. DOI： 10.13873/j.1000-97871992.05.014.

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