浙江工学院
纸质出版:1992
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张鸣华. 红外厚度传感器的设计[J]. 传感器与微系统, 1992,(5):13-18.
张鸣华. 红外厚度传感器的设计[J]. 传感器与微系统, 1992,(5):13-18. DOI: 10.13873/j.1000-97871992.05.005.
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论述了适合于测量含(CH、CH
2
、CH
3
)基团薄膜厚度的红外传感器的设计原理、结构和参数选择。研究了时间差、充填物质、干涉条纹的影响。给出了克服这些影响的设计方法。
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