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压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术
更新时间:2025-09-11
    • 压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术

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    • 传感器与微系统   1992年第4期 页码:46-49
    • DOI:10.13873/j.1000-97871992.04.013    

      中图分类号:
    • 纸质出版:1992

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  • 压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术[J]. 传感器与微系统, 1992,(4):46-49. DOI: 10.13873/j.1000-97871992.04.013.

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