纸质出版:1992
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压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术[J]. 传感器与微系统, 1992,(4):46-49.
压力敏感元件的硅-玻璃-金属封接技术[J]. 传感器与微系统, 1992,(4):46-49. DOI: 10.13873/j.1000-97871992.04.013.
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利用电场和温度将硅—玻璃—金属三者一次性紧密封接在一起。采用这种工艺技术制造出的硅压力敏感元件强度高、气密性好
提高了稳定性和可靠性。
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