哈尔滨船舶工程学院
纸质出版:1992
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段振新. 微型应变传感器的设计与制造[J]. 传感器与微系统, 1992,(2):17-20.
段振新. 微型应变传感器的设计与制造[J]. 传感器与微系统, 1992,(2):17-20. DOI: 10.13873/j.1000-97871992.02.005.
DOI:
把压敏电阻敏感元件、温度补偿电路和高电平放大器
在硅片上采用集成技术制成微型应变传感器
它有电压及频率两种形式的输出。给出了该传感器的设计、制造和测试结果。这种传感器也可以做压力传感器使用
不过在设计几何布局和制造处理上略有不同。
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