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气体传感器中的厚薄膜技术
更新时间：2025-09-11

    • 气体传感器中的厚薄膜技术

    • 暂无标题

    • 传感器与微系统   1992年第1期 页码：1-7

    • DOI：10.13873/j.1000-97871992.01.002    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1992

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  • 易惠中. 气体传感器中的厚薄膜技术[J]. 传感器与微系统, 1992,(1):1-7. DOI： 10.13873/j.1000-97871992.01.002.

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