纸质出版:1991
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化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1991,(6):52-59.
化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1991,(6):52-59. DOI: 10.13873/j.1000-97871991.06.015.
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在溶液分析中
被测液的组成大多比较复杂、往往需要同时分析溶液中的多种离子成分
因此ISFET的集成化和多功能化多年来始终是人们追求的目标。由于ISFET在工艺上与MOSFET基本相容
其目标的实现成为可能。 ISFET的集成化分为两大方向
一是改进器件性能
二是扩大器件功能。多功能化指的是器件的用途
但就其制造技术
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