东南大学
纸质出版:1991
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张佐兰. SDB技术及其在传感器中的应用[J]. 传感器与微系统, 1991,(6):30-33.
张佐兰. SDB技术及其在传感器中的应用[J]. 传感器与微系统, 1991,(6):30-33. DOI: 10.13873/j.1000-97871991.06.008.
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本文简要介绍了硅片直接键合(SDB)技术和pn结自停止电化学腐蚀减薄新技术以及该技术在传感器中的应用。
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