纸质出版:1991
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半导体微传感器的初级数值模型库[J]. 传感器与微系统, 1991,(4):1-7+50.
半导体微传感器的初级数值模型库[J]. 传感器与微系统, 1991,(4):1-7+50. DOI: 10.13873/j.1000-97871991.04.001.
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本文讨论了描述半导体微传感器物理效应的基本模型方程
建立了常见半导体微传感器的初级数值模型库
该模型库可用于微传感器的计算机辅助分析与设计。
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