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超声键合技术用于水晶压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1991,(2):34-35.
超声键合技术用于水晶压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1991,(2):34-35. DOI: 10.13873/j.1000-97871991.02.009.
DOI:
因为铝电极的声阻抗与水晶的声阻抗比较匹配
所以水晶表面波压力传感器大都使用铝电极。可是
若机械地照搬晶体管和固态压力传感器的热压键合工艺
利用硅铝丝作为引线材料进行热压
那么由于硅铝丝和铝膜外面有一层氧化膜不易去除
使焊接点出现假焊而不牢;倘若采用金丝作引线
那么在高温工作时焊接处将
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