表面覆膜SnO<sub>2</sub>半导体氢敏元件

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表面覆膜SnO₂半导体氢敏元件

更新时间：2025-09-11

- 表面覆膜SnO₂半导体氢敏元件
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- 传感器与微系统 1991年第1期页码：31-34
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/j.1000-97871991.01.007
  中图分类号：
- 纸质出版：1991
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表面覆膜SnO₂半导体氢敏元件[J]. 传感器与微系统, 1991,(1):31-34.
表面覆膜SnO₂半导体氢敏元件[J]. 传感器与微系统, 1991,(1):31-34. DOI： 10.13873/j.1000-97871991.01.007.

DOI：

摘要

在制备烧结体SnO

2

半导体气敏元件的基础上

对元件表面进行了覆膜处理

得到具有高选择性的氢气敏感元件。

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