纸质出版:1990
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化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(6):53-59+62.
化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(6):53-59+62. DOI: 10.13873/j.1000-97871990.06.015.
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第四讲 离子敏场效应器件 五、以pH-ISFET为基础的ISFET及CHEMFET敏感膜制备工艺 如前所述
在巳制成的Si
3
N
4
膜pH-ISFET敏感栅上再复盖一层对某种离子或化学物质敏感的介质膜即可制成相应的敏感器件
而且敏感膜是关系到器件灵敏度、选择性、稳定性、重现性等性能优劣的关键
敏感膜的性能又取决于制膜材料
[日]铃木周一 编,霍纪文,姜远海 译.生物传感器[M].科学出版社,1988.
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