以钛酸丁酯和二茂铁为源物质

用氧气做氧化剂

采用等离子体化学气相沉积的方法

合成了具有良好气敏性能的TiO

2

掺杂α-Fe

2

O

3

薄膜。采用SEM

XRD、DTG、IR、XPS和XRF等方法对薄膜的结构和成份进行了分析和观察。气敏测试的结果表明

TiO

2

掺杂有助干提高α-Fe

2

O

3

薄膜的气敏选择性和气体灵敏度

并降低其工作温度。