纸质出版:1990
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掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响[J]. 传感器与微系统, 1990,(6):10-12.
掺杂浓度对多晶硅电阻温度系数的影响[J]. 传感器与微系统, 1990,(6):10-12. DOI: 10.13873/j.1000-97871990.06.003.
DOI:
本文对多晶硅电阻的温度系数进行了研究
随着掺杂浓度的增大
多晶硅电阻的温室系数从负值变到正值。实验结果可用Seto模型进行解释。
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