纸质出版:1990
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化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(5):52-58.
化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(5):52-58. DOI: 10.13873/j.1000-97871990.05.015.
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四、pH-ISFET敏感膜制备 如前所述
离子敏器件敏感膜的质量直接影响着器件的响应灵敏度、阈值电压等一系列性能参数及其稳定性。因此
在电学性能合格的场效应管上制作高质量的敏感膜就成了ISFET制作的最关键工序之
陈国平,李玲珍,张随新,张浩康.氧化钽感湿薄膜的研究[J].传感技术学报,1990(01).
祁增芳,余剑平.多层结构ISFET传感器特性的研究[J].半导体技术,1990(01).
梁鹿亭 编译.半导体器件表面钝化技术[M].科学出版社,1979.
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