纸质出版:1990
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一种在芯片上带有补偿电路的通用硅压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(5):39-42.
一种在芯片上带有补偿电路的通用硅压力传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(5):39-42. DOI: 10.13873/j.1000-97871990.05.011.
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本文提出了一种硅压阻式压力传感器校准和温度补偿的新思想
根据这种思想
把压阻惠斯顿电桥同可调的多晶硅电阻电路组合在同一芯片上
本文叙谜了这种传感器的设计、制作及其测最特性。
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