纸质出版:1990
移动端阅览
硅膜片电容压力传感器CAD[J]. 传感器与微系统, 1990,(3):36-41+10.
硅膜片电容压力传感器CAD[J]. 传感器与微系统, 1990,(3):36-41+10. DOI: 10.13873/j.1000-97871990.03.008.
DOI:
本文用数值方法计算C型和E型硅膜片电容压力传感器的输入、输出关系及性能指标
给出了能减少非线性误差的新的电极形状。
0
浏览量
62
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构