纸质出版:1990
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化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(2):62-66.
化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(2):62-66. DOI: 10.13873/j.1000-97871990.02.014.
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(三)pH-ISFET、ISFET和CHE-MFET 氢离子敏场效应晶体管是最基本的离子敏场效应晶体管。它与MOSFET的区别只在于用对氢离子有响应的敏感膜(如Si
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N
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膜)取代了金属栅。氢离子敏感膜
虞惇,张玉良,王贵华.pH-ISFET滞后特性的研究[J].传感器技术,1989(04).
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