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扩散硅压力传感元件的可靠性问题探讨
更新时间：2025-09-11

    • 扩散硅压力传感元件的可靠性问题探讨

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    • 传感器与微系统   1990年第2期 页码：16-21+25

    • DOI：10.13873/j.1000-97871990.02.003    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1990

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  • 牟军. 扩散硅压力传感元件的可靠性问题探讨[J]. 传感器与微系统, 1990,(2):16-21+25. DOI： 10.13873/j.1000-97871990.02.003.

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