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SiO2介质薄膜电容μm位移传感器
更新时间：2025-09-11

    • SiO2介质薄膜电容μm位移传感器

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    • 传感器与微系统   1990年第1期 页码：17-21

    • DOI：10.13873/j.1000-97871990.01.005    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1990

    移动端阅览

  • 张延文. SiO2介质薄膜电容μm位移传感器[J]. 传感器与微系统, 1990,(1):17-21. DOI： 10.13873/j.1000-97871990.01.005.

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