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微压传感器制造中的硅杯腐蚀
更新时间：2025-09-11

    • 微压传感器制造中的硅杯腐蚀

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    • 传感器与微系统   1989年第6期 页码：31-34+27

    • DOI：10.13873/j.1000-97871989.06.008    

      中图分类号：

    • 纸质出版：1989

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  • 微压传感器制造中的硅杯腐蚀[J]. 传感器与微系统, 1989,(6):31-34+27. DOI： 10.13873/j.1000-97871989.06.008.

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