机械电子工业部哈尔滨电子敏感技术研究所
纸质出版:1989
移动端阅览
马丽杰. 溅射型应变计与压力变送器[J]. 传感器与微系统, 1989,(3):29-33.
马丽杰. 溅射型应变计与压力变送器[J]. 传感器与微系统, 1989,(3):29-33. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.03.008.
DOI:
一、前言 利用溅射工艺使材料形成薄膜化是当前以电子装置为主的各个领域迅速发展起来的新技术之一
这是由于它利用了与体型截然不同的薄膜及其独特的性质而研制出的新产品之缘故。
0
浏览量
下载量
CSCD
关联资源
相关文章
相关作者
相关机构