纸质出版:1989
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化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):52-62.
化学量传感器[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):52-62. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.02.016.
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金属氧化膜类湿度传感器一般分为两类:一类是电容式
一类是电阻式。电容式的以Al
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O
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和Ta
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氧化膜湿度传感器为代表;电阻式的以Fe
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氧化膜湿度传感器为代表。
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