广州半导体材料研究所,广州市
纸质出版:1989
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张郁华. 用特殊金属四探针法测量半导体陶瓷电阻率[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):33-36.
张郁华. 用特殊金属四探针法测量半导体陶瓷电阻率[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):33-36. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.02.010.
DOI:
为了解决用探针法直接测量半导体陶瓷电阻率的难题
必须了解这种特殊材料的性质。半导体陶瓷是结构不理想的晶粒体
是含有气孔、玻璃相及晶界层的多晶多相体
其结构远比锗、硅单晶要复杂。探针与陶瓷材料相接触
问题首先集中表现在半导体陶瓷表面比较复杂
有一层氧的化学吸附层
要形成稳定良好欧姆接触相
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