纸质出版:1989
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512×512像素PtSi肖特基势垒红外图像传感器[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):28-32.
512×512像素PtSi肖特基势垒红外图像传感器[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):28-32. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.02.009.
DOI:
已经研制了具有电视质量标准的红外图像传感器
该传感器可在3~5μm红外波段区热成像
陈列尺寸为外512×512像素
器件采用PtSi肖特基势垒光电探测器。为了获得大的占空系数
应用了电荷扫描器件(CSD)结构。该像素由两层多晶硅和两层铝构成
并具有最小设计基准为2μm。像素尺寸和占空系数分别为26×20μm
2
和30%。采用金属薄膜和光腔结构改善了器件的灵敏度
势垒高度为0.22eV时
相应的截止波长约为5.6μm。器件以标准电视帧频工作。借助于微粒噪声探测器
在300K时该器件噪声被限制在f/1.5光学范围内
器件的温度差分辨能力约为0.11K。使用该器件已经制作了典型的红外电视摄像机
并获得了高质量的红外图像。
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