纸质出版:1989
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压阻式绝对压力传感器的研制[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):25-27+39.
压阻式绝对压力传感器的研制[J]. 传感器与微系统, 1989,(2):25-27+39. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.02.008.
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压阻式绝对压力传感器是利用单晶硅的压阻效应
在周边固支的圆型膜片上采用半导体平面工艺
在晶片特定的方向和位置上制成电阻并组成全桥电路
最后通过静电封接技术形成真空腔制成。
庞世信,周成立.压力传感器的封接原理和工艺[J].仪表技术与传感器,1988(04).
梁鹿亭 编译.半导体器件表面钝化技术[M].科学出版社,1979.
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