纸质出版:1989
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惠恒荣, 秦学超, 李建强, 等. 用于汽车控制系统的a-Si:H薄膜温度传感器[J]. 传感器与微系统, 1989,(1):33-35+43.
惠恒荣, 秦学超, 李建强, 等. 用于汽车控制系统的a-Si:H薄膜温度传感器[J]. 传感器与微系统, 1989,(1):33-35+43. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.01.011.
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本文介绍了一种成本低廉、灵敏度高的新型氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜温度传感器的工作原理、样品结构和制备方法。同时还报导了作者对这种传感器研制的初步结果。
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