纸质出版:1989
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冯耀兰, 骆志强, 陆淑伟. 多晶硅桥在集成传感器中的多功能性研究[J]. 传感器与微系统, 1989,(1):19-21.
冯耀兰, 骆志强, 陆淑伟. 多晶硅桥在集成传感器中的多功能性研究[J]. 传感器与微系统, 1989,(1):19-21. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.01.008.
DOI:
采用多晶硅桥结构作为集成传感器的敏感元件
容易制成用于测量流速、流向、温度和光强等的多功能传感器
此结构制造简单、设计灵活、兼容性强、性能优良
为解决传感器的集成化、多功能
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