纸质出版:1989
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张佐兰, 田耘, 简耀光. 传感器硅膜制备技术的研究[J]. 传感器与微系统, 1989,(1):17-18+16.
张佐兰, 田耘, 简耀光. 传感器硅膜制备技术的研究[J]. 传感器与微系统, 1989,(1):17-18+16. DOI: 10.13873/j.1000-97871989.01.007.
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一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得
如
薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关
而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度的精确控制对器件性能的影响是十分重要的。
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